keysight 1077 長距離直線度光器件

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描述

Keysight 1077 結(jié)合了直線度干涉儀和反射鏡，可在 1 至 30 米（3 英尺至 100 英尺）的行程距離內(nèi)進(jìn)行測量。 該光器件構(gòu)成了一個(gè)高度的光學(xué)直角尺，可以測量機(jī)床行程和坐標(biāo)測量機(jī)運(yùn)動(dòng)的直線度，分辨率為 0.1 微米（10 微英寸）。

Keysight 1077（與 Keysight 5530 校準(zhǔn)系統(tǒng)配合使用）是一個(gè)大型元器件，可對干涉儀系統(tǒng)進(jìn)行量身定制以滿足每個(gè)應(yīng)用的物理版圖和測量要求。

直線度測量精度

總體精度 = 光參考精度 + 測量精度。

與使用直角尺和指示器進(jìn)行直線度測量的傳統(tǒng)方法類似，光參考精度相當(dāng)于直角尺精度，而測量精度相當(dāng)于指示器精度。

光參考精度

直角尺（反射鏡）反轉(zhuǎn)技術(shù)可消除光參考不確定度。

公制單位模式： ±0.015 M2 µm

英制單位模式： ±0.05 F2 µin

其中：

M = 移動(dòng)光器件的行程距離（單位：米）。

F = 移動(dòng)光器件的行程距離（單位：英尺）。

測量精度

溫度范圍顯示值：

0 µm 至 100 µm，100 至 1,500 µm

0 µm 至 4000 µm，4000 至 60,000 µm

15°C 至 25°C，±5%±2.5%±02.55 µm（10 µin）

0°C 至 40°C，±7.5%±2.5%±5 µm（20 µin）

直線度測量分辨率

Keysight 5519A、Keysight 5519B

0.1 µm（4 µin）、36 µm（14 µin）

直線度測量范圍（正交至軸向移動(dòng)）

±1.5 mm（0.060 英寸）

軸向分離（移動(dòng)）

（干涉儀和反射鏡之間的距離，典型值，經(jīng)過恰當(dāng)?shù)膶?zhǔn)，15°C 至 25°C）： 1 m 至 30 m（3 英尺至 100 英尺）

對空氣擾動(dòng)的反應(yīng)具有高精度和低靈敏度

可與 Keysight 55283A 直線度測量套件配合使用，以擴(kuò)展距離范圍

高分辨率平面鏡

適用于各種是德系統(tǒng)（包括 Keysight 5530 校準(zhǔn)器系統(tǒng)）